片狀氧化鋁微粉WCA是什么?
日期:2024-05-28 11:16:50 人氣:點(diǎn)擊:
片狀氧化鋁微粉WCA是什么?
【概況】
片狀氧化鋁微粉WCA以其獨(dú)特的片狀結(jié)構(gòu)為人們所熟知。最初片狀氧化鋁粉是由美國Microgrit公司研發(fā),科研人員發(fā)現(xiàn)在一定條件下經(jīng)過高溫煅燒的氧化鋁晶體呈六邊形的片狀結(jié)構(gòu),這種結(jié)構(gòu)如果用于研磨,不會(huì)像傳統(tǒng)的氧化鋁那樣由很多尖角存在,有利于精細(xì)部件的研磨。WCA是Microgrit公司平板狀氧化鋁的牌號(hào)名稱。此后,日本半導(dǎo)體材料巨頭FUJIMI也生產(chǎn)了類似的產(chǎn)品,牌號(hào)為PWA。因此,片狀氧化鋁微粉WCA和平板狀氧化鋁PWA是同一種形態(tài)的氧化鋁粉體。
【生成原理】
片狀氧化鋁微粉WCA的生成原理為:在高溫煅燒過程中加入熔鹽材料,一方面由于氧化鋁中在熔鹽中的遷移速率遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于常規(guī)的固相反應(yīng),所以可以降低合成α-Al2O3的反應(yīng)溫度和縮短反應(yīng)時(shí)間;另一方面由于熔化的鹽對(duì)各個(gè)晶面的潤濕程度不同,使得各個(gè)晶面的表面能存在差異,導(dǎo)致晶面生長速率不同,最終導(dǎo)致片狀的形成。目前,國內(nèi)的片狀氧化鋁微粉廠家主要采用的就是熔鹽高溫煅燒的方法進(jìn)行生產(chǎn)的。
【用途】
熔鹽高溫煅燒的片狀氧化鋁微粉,氧化鋁的含量與電熔氧化鋁微粉的含量相當(dāng),大于99%,晶體呈六面體平板狀,單個(gè)晶體的厚度約2-3um。煅燒后的片狀氧化鋁集合體要經(jīng)過研磨和分級(jí),得到不同顆粒大小的粉體。顆粒范圍通常在3-50um,主要用于半導(dǎo)體硅片、光學(xué)晶體的研磨和拋光。
【優(yōu)點(diǎn)】
片狀氧化鋁微粉的優(yōu)勢(shì)為平面滑動(dòng)研磨避免劃痕、磨削力強(qiáng)研磨效率高、易分散不團(tuán)聚等優(yōu)點(diǎn)。